非接触厚度电阻率测试仪操作说明

非接触厚度电阻率测试仪型号：JXNRT1

一、测试原理

1、电阻率测试探头原理

电阻率测试模块是由一对共轴涡流传感器，以及后续的处理电路组成。将半导体硅片置于两个探头的间隙中时，在电磁场的作用下，半导体硅片中会产生涡流效应，通过检测涡流效应的大小，可以换算出该硅片的电阻率和方块电阻。本方法是一种非接触无损测量的方法，不损伤材料表面，可以在大多数场合有效替代四探针法测试电阻率以及方块电阻。

2、厚度测试探头原理

厚度探头采用的是一对共轴电容位移传感器。电容传感器具有重复性好，测试数值稳定，技术成熟等优点，广泛用于各种材料厚度的测试。

二、范围

本设备为非接触无损测量设备，测试过程中对硅片表面以及内部不会造成损伤。特别于代替四探针法用于半导体硅片成品分选检验。一台仪器可以同时对厚度和电阻率两个指标进行测试分选，减少了测试工序和测试时间，提高了测试效率。

典型的客户：科研单位、硅片生产厂商、半导体器件生产厂商、光伏企业、导电薄膜研发生产企业。

三、仪器构成

1、测试主机：1 台

2、电源线：1 根

3、串口数据线：1 根

4、电脑端软件：1 套

5、塑料定位柱：2 个

四、仪器外观尺寸结构及图片

1、整机尺寸：340*260*180mm

2、机箱颜色：电脑白

3、仪器结构：本仪器采用厚度探头和电阻率探头前后并列安装的方式。

五、仪器主要指标

1、电气规格

a. 使用标准三插头，由 220V 交流电供电，整机功耗小于 15 瓦。

b. 本仪器测试平台和外壳均为金属材料，按照安全规范，请确保电源地线正确连接。

2、测试范围

测试样品要求：厚度小于 600um 的半导体硅片以及其他类似材料。(为客户提供特殊定制，厚度Z大的测试范围可以扩展到 800um)

电阻率范围： L 档： 0.2-5 Ω·cm

H 档： 5-50 Ω·cm

注： 电阻率不在上述量程范围内的可以按要求调整， 调整的范围可以在0.001-100Ω*cm。

厚度范围： 100-600 um （定制版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大于 700um 的硅片无法放入测试区域。